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大型HMDS真空烘箱,4門HMDS真空烤箱
大型HMDS真空烘箱,4門HMDS真空烤箱

大型HMDS真空烘箱,4門HMDS真空烤箱 是半導(dǎo)體光刻工藝中的關(guān)鍵設(shè)備,主要用于基片表面預(yù)處理,通過六甲基二硅氮烷(HMDS)涂布增強(qiáng)光刻膠與基片的黏附性。

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硅烷沉積設(shè)備 抗粘劑蒸鍍系統(tǒng) 納米抗粘設(shè)備
硅烷沉積設(shè)備 抗粘劑蒸鍍系統(tǒng) 納米抗粘設(shè)備

硅烷沉積設(shè)備 抗粘劑蒸鍍系統(tǒng) 納米抗粘設(shè)備通過表面修飾的模板,可以大大降低模板與壓印聚合物層之間的相互作用力,在納米壓印過程中實(shí)現(xiàn)結(jié)構(gòu)較好的轉(zhuǎn)移,復(fù)制.

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抗黏劑蒸鍍機(jī) 抗粘劑涂膠機(jī) 硅烷氣相鍍膜機(jī)
抗黏劑蒸鍍機(jī) 抗粘劑涂膠機(jī) 硅烷氣相鍍膜機(jī)

抗黏劑蒸鍍機(jī) 抗粘劑涂膠機(jī) 硅烷氣相鍍膜機(jī)通過精確控制烘箱溫度(100-200℃)、處理時(shí)長及保持時(shí)間等參數(shù),使氮烷(HMDS六甲基二硅胺烷、乙烯基三甲氧基硅烷、PFTS三氯硅烷)沉積在襯底表面,生成疏水性的保護(hù)層,,將親水基片轉(zhuǎn)化為疏水性。該過程有效增大處理后的基片接觸角,減少光刻膠使用量約30%,同時(shí)提升膠層與基片的黏附強(qiáng)度?。

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抗粘劑蒸鍍機(jī) 硅烷鍍膜機(jī)  氣相沉積系統(tǒng)
抗粘劑蒸鍍機(jī) 硅烷鍍膜機(jī) 氣相沉積系統(tǒng)

抗粘劑蒸鍍機(jī) 硅烷鍍膜機(jī) 氣相沉積系統(tǒng) 硅烷偶聯(lián)劑(HMDS六甲基二硅胺烷、乙烯基三甲氧基硅烷、PFTS三濾硅烷等)作為一類重要的有機(jī)硅化合物,在材料表面改性、復(fù)合材料增強(qiáng)、涂層制備等眾多領(lǐng)域有著廣泛應(yīng)用。

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疏水處理設(shè)備  疏水性處理系統(tǒng) HMDS預(yù)處理
疏水處理設(shè)備 疏水性處理系統(tǒng) HMDS預(yù)處理

疏水處理設(shè)備 疏水性處理系統(tǒng) HMDS預(yù)處理是一種改善物體表面性質(zhì)的技術(shù),使其具有疏水性,即不易被液體濕潤。

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表面疏水性處理設(shè)備  陶瓷玻璃疏水處理機(jī)
表面疏水性處理設(shè)備 陶瓷玻璃疏水處理機(jī)

表面疏水性處理設(shè)備 陶瓷玻璃疏水處理機(jī)通過氣相涂布硅烷偶聯(lián)劑HMDS實(shí)現(xiàn)陶瓷表面疏水性能的提高,陶瓷表面接觸角為118?135度,且疏水材料與陶瓷基體的的附著性能好。

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納米陶瓷材料表面疏水HMDS處理系統(tǒng)
納米陶瓷材料表面疏水HMDS處理系統(tǒng)

納米陶瓷材料表面疏水HMDS處理系統(tǒng)生產(chǎn)工藝周期短,提高生產(chǎn)效率; 修飾液用量極少,節(jié)約成本90%; 閉環(huán)的工藝過程,安全系數(shù)高。

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