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HMDS涂膠系統，HMDS涂膠烤箱通過對烘箱預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。適用于硅片、液晶面板、顯示器、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料預處理及相關行業(yè)。

脫模劑蒸鍍機，脫 模劑鍍膜烤箱應用于半導體，光電、電子行業(yè)硅片、砂紙或石英硬模板等材料。

氣相成底膜烤箱，HMDS蒸氣淀積系統用于除去硅片表面的污染物（顆粒、有機物、工藝殘余、可動離子），除去水蒸氣，使基底表面由親水性變?yōu)樵魉裕鰪姳砻娴酿じ叫裕℉MDS-六甲基二硅胺烷）。

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智能型HMDS蒸鍍機臺是一種 具有預處理性能更好，處理更加均勻，效率高，更加節(jié)省藥液特性的智能型烘箱。適用于硅片、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料預處理及相關行業(yè)。

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