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晶圓退火烤箱,500度退火氮氣烘箱 工業(yè)烘箱

晶圓退火烤箱,500度退火氮氣烘箱 工業(yè)烘箱

簡要描述:

晶圓退火烤箱,500度退火氮氣烘箱晶圓退火需進(jìn)行升溫處理,升溫處理具有多個升溫階段,每個升溫階段相應(yīng)的升溫速率不同,其中,所述多個區(qū)域在每個所述升溫階段中的溫度不同;對所述多個區(qū)域進(jìn)行保溫處理;對多個區(qū)域采用氮氣保護(hù),該氮氣烘箱采用輔助降溫方式進(jìn)行降溫處理。

晶圓退火烤箱,500度退火氮氣烘箱

      晶圓退火需進(jìn)行升溫處理,升溫處理具有多個升溫階段,每個升溫階段相應(yīng)的升溫速率不同,其中,所述多個區(qū)域在每個所述升溫階段中的溫度不同;對所述多個區(qū)域進(jìn)行保溫處理;對多個區(qū)域采用氮氣保護(hù),該氮氣烘箱采用輔助降溫方式進(jìn)行降溫處理。

晶圓退火烤箱,500度退火氮氣烘箱技術(shù)性能:

1 工作室尺寸  W450mm×450mm×H450mm (90L),可定制

2  材質(zhì) 內(nèi)箱采用耐高溫SUS304不銹鋼,外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑

3 溫度范圍 RT+50-550℃

4 控溫精度 +1

5 溫度波動度 ≤±1℃

6 溫度均勻度 ≤1.5%

7 潔凈度class100/class1000/無要求

8電源及總功率 AC 380V±10%/50HZ 

9 升溫速度 1-10℃/min可調(diào)

10降溫方式 風(fēng)冷降溫/水冷

11氧含量 氧含量≤50ppm 

12 數(shù)據(jù)輸出 氧含量分析儀,溫度記錄儀

13操作方式    彩色觸摸屏控制,可程式/定制運行

14 樣品架  2層不銹鋼沖孔托盤

500度退火氮氣烘箱安全保護(hù)

三色報警燈

超溫報警

短路保護(hù)

漏電保護(hù)

超溫保護(hù),獨立感溫式超溫保護(hù)器

電機(jī)保護(hù)

電子鎖自動鎖緊,防止高溫開門


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上海雋思實驗儀器有限公司主要經(jīng)營優(yōu)質(zhì)的晶圓退火烤箱,500度退火氮氣烘箱 工業(yè)烘箱等,歡迎來電咨詢晶圓退火烤箱,500度退火氮氣烘箱 工業(yè)烘箱詳細(xì)資料等信息
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