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無(wú)塵class100烘箱,MES接口無(wú)塵烘箱 工業(yè)烘箱

無(wú)塵class100烘箱,MES接口無(wú)塵烘箱 工業(yè)烘箱

簡(jiǎn)要描述:

無(wú)塵class100烘箱,MES接口無(wú)塵烘箱用于IC,晶圓等電子、半導(dǎo)體、醫(yī)療行業(yè)高潔凈度烘烤制程工藝

無(wú)塵class100烘箱,MES接口無(wú)塵烘箱技術(shù)參數(shù):

用途

用于IC,晶圓等電子、半導(dǎo)體、醫(yī)療行業(yè)高潔凈度烘烤制程工藝

溫度范圍

室溫+10℃~250℃

溫度波動(dòng)度

恒溫溫度波動(dòng)±0.5℃

溫度均勻度

≤±2℃

工作室尺寸(mm)

450(深)*450(寬)*600(高)(可自定)

潔凈度

Class100

氣體過(guò)濾

配有氣體過(guò)濾裝置,保證腔體內(nèi)潔凈度為100級(jí)

隔板要求

每個(gè)腔體配二個(gè)隔板,用不銹鋼板沖孔制成

箱體外壁材料

冷軋鋼板靜電噴塑(或SUS304)

箱體內(nèi)壁材料

為不銹鋼板內(nèi)壁氬弧焊(SUS316或SUS304)

保溫材料

優(yōu)質(zhì)超細(xì)納米玻璃棉

氮?dú)饨涌?/span>

能將箱內(nèi)空氣排出,確保烘烤的硅片是在氮?dú)庵羞M(jìn)行

控制方式

人機(jī)界面+PLC控制

氮?dú)饬髁?/span>

0.3~0.5M3/H(可選擇具有流量偏低/偏高報(bào)警功能,并實(shí)時(shí)監(jiān)控記錄曲線(xiàn))

超溫保護(hù)

采用獨(dú)立的超溫保護(hù)裝置,確保溫度不超限;當(dāng)保護(hù)裝置動(dòng)作時(shí),超溫保護(hù)裝置自動(dòng)切斷加熱電源并進(jìn)行聲光報(bào)警、控制儀采用LED顯示且可調(diào)

計(jì)時(shí)方式

溫度達(dá)到制程設(shè)定值后開(kāi)始計(jì)時(shí).

排風(fēng)口

直徑114mm的排風(fēng)口,且安裝有調(diào)節(jié)風(fēng)閥

電氣安全保護(hù)

風(fēng)機(jī)過(guò)載保護(hù)、加熱系統(tǒng)超溫保護(hù)、電磁門(mén)鎖保護(hù)、安全接地保護(hù).

MES軟件

可連接MES系統(tǒng)

作業(yè)時(shí)掃碼可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)調(diào)取所需作業(yè)程序,作業(yè)員只需確認(rèn)是否正確

自動(dòng)記錄作業(yè)累計(jì)次數(shù),作業(yè)批號(hào),作業(yè)人員,作業(yè)起止日期及時(shí)間,作業(yè)溫度曲線(xiàn),作業(yè)條件,可自動(dòng)生成Excel報(bào)表

有權(quán)限操作員需掃碼后才可操作此設(shè)備,且自動(dòng)記錄作業(yè)人員

 

無(wú)塵class100烘箱,MES接口無(wú)塵烘箱用途: 

   無(wú)塵烘箱用于IC生產(chǎn)過(guò)程中極為重要的光刻工藝中預(yù)烘烤(軟烘),脫水烘烤,涂膠后的堅(jiān)膜烘烤(硬烘);也適用于電子液晶顯示、柔性面板、LCD、CMOS、OLED、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門(mén)。

 

 

 

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