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高精度數(shù)顯恒溫加熱臺(tái)光刻光刻工藝中需要烘烤的步驟有：預(yù)烘培和底漆涂敷、軟烘烤、曝光后烘烤、硬烘烤

上海百級(jí)潔凈烘箱用于精密電子元件、高溫烘烤、堅(jiān)膜烘烤、半導(dǎo)體元件封裝、治具干燥、銀膠固化、晶圓退火、芯片高溫測(cè)試、電子陶瓷材料無(wú)塵烘干的特殊工藝要求

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class100高溫潔凈烘箱，程控式無(wú)塵烤箱采用液晶觸摸屏溫度控制器，內(nèi)置曲線查詢、PID自整定、高溫上限報(bào)警、運(yùn)行方式：定值、程式，中、英文操作。